高效送風口，FFU，層流罩的區(qū)別：高效送風口，F(xiàn)FU，層流罩都是用在無塵室里面的設(shè)備，作用都是過濾空氣中的塵埃粒子，以達到生產(chǎn)制成對潔凈度的要求。
根據(jù)送風的方式，使用位置的不同，造成產(chǎn)品本身的結(jié)構(gòu)也不一樣。高效送風口，分為送風箱及高效濾網(wǎng)，本身不具備動力，不能自己送風到無塵室。高效送風口，上面或側(cè)面，會有“入風口”，“入風口”經(jīng)風管與MAU空調(diào)箱連接，風從空調(diào)送出，經(jīng)風管送進送風箱，經(jīng)高效濾網(wǎng)過濾，再送進無塵室。使用位置位于無塵室頂部，用于亂流型無塵室，成本相對較高。

高效送風口分類有四種，分別是：1、帶擴散板的送風口；2、帶平面形擴散板的送風口；3、保溫送風口；4、頂進風送風口，側(cè)進風送風口。
高效送風口，當里面的高效過濾器的阻力值大于450Pa時;或當出風面氣流速度降到更低限度，即便改換粗效、中效過濾器后，氣流速度仍不能增大;或當高效過濾器外表呈現(xiàn)無法修補的滲漏狀況，均須改換新的高效過濾器;如沒有以上條件，普通可依據(jù)運用環(huán)境條件狀況，1—2年改換一次。

FFU的中文是“風機過濾單元”，分成兩部分，風機及高效濾網(wǎng)。相對高效送風口來說，F(xiàn)FU自帶電機，通過電機帶動葉輪達到送風的目的，使用位置位于無塵室頂部，用于層流型無塵室，成本相對較高。
FFU是一個自帶送風機(無殼風機)的高效過濾器送風口，它與其專用龍骨系統(tǒng)、加壓風機、冷卻盤管、新風系統(tǒng)以及專用燈具共同組成了FFU系統(tǒng)。也就是將風機和過濾器(高效過濾器或超高效過濾器)組合在一起構(gòu)成自身能提供動力的末端凈化設(shè)備。工作原理由于FFU直接安裝在天花板骨架間，為了使過濾器既要更換簡便快捷，又要使FFU的風機運行保持平衡，減少安裝失衡的機率。因此一般考慮專業(yè)配套的龍骨架。這種龍骨架是采用機械冷軋成特殊幾何形狀(Ｕ形)的型鋼,金屬表面根據(jù)其環(huán)境不同，進行防腐處理(如靜電噴涂、熱冷鍍鋅、環(huán)氧等)，可以即保證了與之相似槽鋼的強度,又滿足了FFU運行的需求。

層流罩工作原理和FFU一樣，也通過電機帶動葉輪達到送風的目的。但是一般在現(xiàn)有無塵室無法滿足生產(chǎn)制成潔凈度要求或送風型式要求時（亂流改層流），(全部改造成本較高，只有滿足局部需求即可)，才采用的層流罩，已達到制成要求。
層流罩是將空氣以一定地風速通過高效過濾器后，形成均流層，使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄鳎瑥亩ＷC了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的高潔凈度。層流罩是能將操作員與產(chǎn)品屏蔽隔離的設(shè)備之一，其主要用途是避免產(chǎn)品污染。從潔凈室吸取的空氣，然后采用頂部增壓艙里安裝的風扇通過HEPA過濾垂直穿過操作區(qū)域，為關(guān)鍵區(qū)域提供ISO 5(級別100)的單向流空氣。廢氣從下面排出，返回潔凈室區(qū)域。它主要由箱體、風機、高效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成。